光学元件成形模具及其制造方法以及制造装置

摘要

本发明提供一种光学元件成形模具，通过注入离子提高了在注入离子后所形成的膜与成形面的附着强度，并且通过采用与之不相同的方法而使其具有平滑的成膜面和高附着强度。该光学元件成形模具的制造方法包括第一工序(S01)和第二工序(S02)，在第一工序(S01)中，在设置在真空容器(4)内的母材(2)的周围产生含有作为贵重金属离子的Pt离子，通过对母材(2)施加脉冲电压，从母材(2)周围的等离子中只吸引出离子，将该离子注入母材(2)的成形面(2A)；在第二工序(S02)中，在第一工序(S01)后的成形面(2A)上，用溅射法形成由Pt构成的膜。

主权项

一种光学元件成形模具的制造方法，其特征在于，包括：第一工序，使用离子注入机构，在设置在真空容器内的上述光学元件成形模具的母材的周围，产生至少包含一种贵重金属离子的等离子，通过对上述母材施加脉冲电压，从上述母材周围的上述等离子中只吸引出离子，至少在上述母材的成形面上注入或附着、或者注入并附着该离子；第二工序，在该第一工序后的上述成形面上，使用能采用基于离子束的溅射法、蒸镀法、CVD法、或离子镀法的任意一种成膜方法成膜的成膜机构，形成由与上述第一工序中使用的上述贵重金属相同或不同的至少一种贵重金属构成的膜，其中：在上述第一工序中，使用屏蔽装置，在上述母材与上述成膜机构之间进行屏蔽；在上述第二工序中，使用上述屏蔽装置，在上述母材与上述离子注入机构之间进行屏蔽。