一种用二次蒸发法制备单分散Cu纳米颗粒模板的方法

摘要

本发明提供一种用二次蒸发法制备单分散Cu纳米颗粒模板的方法，其主要技术特征是，氮气300Torr气氛中，在1300℃恒温40-60min，使Cu粉蒸发，在光洁的刚玉套管上均匀覆盖上一层Cu；蒸发得到的刚玉套管做为第二次蒸发的Cu源，以P-111型Si片为基底，流动Ar气保护，气体流速100sccm，在温度1300℃恒温30-50min，制备出单分散的Cu纳米颗粒模板，其优点是，沉积过程均匀稳定，纳米颗粒的单分散性好，解决了常规物理、化学分散方法不能彻底分散纳米颗粒的难题，并且可以通过调节实验温度、恒温时间和气体流速有效控制颗粒尺寸、分散密度和覆盖率。

主权项

一种用二次蒸发法制备单分散Cu纳米颗粒模板的方法，其特征是，(1)将盛有纯度99.9％的Cu粉的刚玉瓷舟装入刚玉套管，在1300℃、300TorrN2气的条件下保温40-60min，套管的内壁均匀的分布上一层Cu；(2)蒸发得到的刚玉套管做为第二次蒸发的Cu源，以P-111型Si片为基底，流动Ar气保护，气体流速100sccm，在温度1300℃恒温30-50min，制备出单分散的Cu纳米颗粒模板。