一种光通信用激子光探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种光通信用激子光探测器及其的制备方法。该激子光探测器包括衬底、层叠于所述衬底之上的多层薄膜，以及制备于所述多层薄膜之上的光子晶体；所述多层薄膜按层叠顺序包括分布布拉格反射镜层、透明导电电极、光吸收层、电子受体层、金属环形电极。所述光吸收层采用单壁碳纳米管作为光吸收材料，所述光子晶体具有光栅衍射效应。本发明光通信用光探测器与传统半导体PN结探测器相比，具有高速率、长波长、高灵敏度、低噪声、易集成和低成本的特点，并且应用光子晶体结构解决了激子光探测器中激子扩散长度与光吸收效率的矛盾问题，具有普遍意义。

主权项

一种光通信用激子光探测器，其特征在于，包括衬底、层叠于所述衬底之上的多层薄膜，以及制备于所述多层薄膜之上的光子晶体；所述多层薄膜按层叠顺序包括分布布拉格反射镜层、透明导电电极、光吸收层、电子受体层、金属环形电极；所述光吸收层采用单壁碳纳米管作为光吸收材料。