发明名称 Aluminum oxide deposited film and process for producing the same
摘要
申请公布号 KR100969416(B1) 申请公布日期 2010.07.14
申请号 KR20020057874 申请日期 2002.09.24
申请人 发明人
分类号 C23C14/08 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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