微小元件的定位方法及其微定位器

摘要

一种微小元件的定位方法及其微定位器，是以一微定位器做为工具，将一微小元件定位在一基板内，该微定位器具有一夹臂、与该夹臂并邻的至少一导轨，及可传递热能至该导轨的一热能组。该方法包含下列步骤：步骤1：将该微小元件散落在该基板。步骤2：使该导轨在热胀冷缩的过程中产生形变，并迫挤该夹臂产生一位差，进而推送该微小元件至该基板的一预定位置，并回复至原位。藉此，利用自动化的作业方式，简化制程、大幅提升产量，并有效降低成本。

主权项

1.一种微小元件的定位方法，是以一微定位器做为工具，将一微小元件定位在一基板内，该方法包含下列步骤：步骤1：将该微小元件散落在该基板；步骤2：使该微定位器在热胀冷缩的过程中，产生形变而由该微定位器至少一导轨的一第一端部向一第二端部传递热能，使逐渐膨胀变形的第一端部迫挤并邻的一夹臂向该第二端部的方向位移，进而推送该微小元件至该基板的一预定位置；及步骤3：由该导轨第二端部向第一端部传递热能，使逐渐膨胀变形的第二端部迫挤该夹臂向该第一端部的方向位移，并回复至原位。 ;2.依据申请专利范围第1项所述之微小元件的定位方法，其中，该步骤1是以振动该基板的方式，使该微小元件陷落入该基板邻近该预定位置的一限位部内。 ;3.一种微定位器，是将一微小元件定位在一基板内，包含：一夹臂，是沿一轴线位移；至少一导轨，是沿平行该轴线方向延伸且与该夹臂并邻，并具有反向的一第一端部与一第二端部；及一热能组，是分别由该导轨的第一端部、第二端部传递热能，使该第一端部、第二端部分别在热胀冷缩的过程中，沿该轴线正、反向迫挤该夹臂推送该微小元件至该基板的一预定位置，并回复至原位。 ;4.依据申请专利范围第3项所述之微定位器，其中，该夹臂与该导轨是利用化学蚀刻法形成在该基板上。 ;5.依据申请专利范围第3项所述之微定位器，更包含有一面板，该面板是可与该基板对合，并形成有该夹臂、该导轨与该热能组。 ;6.依据申请专利范围第5项所述之微定位器，其中，该夹臂与该导轨是利用化学蚀刻法形成在该面板上。 ;7.依据申请专利范围第3项所述之微定位器，其中，该夹臂具有与该导轨并邻的一本体，及形成在该本体一端且可与该微小元件一端部对合的一叉部。 ;8.依据申请专利范围第7项所述之微定位器，其中，该夹臂本体是呈椭圆形，且长轴方向是依循沿该轴线延伸。 ;9.依据申请专利范围第3项或第7项所述之微定位器，其中，该导轨共有二个且沿平行该轴线方向分列在该夹臂二侧。;图1是一俯视图，说明本发明微小元件的定位方法及其微定位器的一第一较佳实施例；图2是该第一较佳实施例部分放大的一俯视图；图3是该第一较佳实施例的一流程图；图4是该第一较佳实施例中多数个微小元件散落在一基板的一俯视图；图5是该第一较佳实施例中每一个微小元件陷落在该基板一限位部的一俯视图；图6是该第一较佳实施例中一夹臂推送该微小元件至一预定位置的一俯视图；图7是该第一较佳实施例中该夹臂回复原位的一俯视图；图8是一前视图，说明本发明微小元件的定位方法及其微定位器的一第二较佳实施例；及图9是该第二较佳实施例中一面板与一基板对合的一前视图。