有机电激发光元件之制造方法及影像显示系统;METHOD OF FABRICATING AN ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DEVICE AND SYSTEM OF DISPAYING IMAGES

摘要

一种有机电激发光元件的制造方法，包括：提供一基板，该基板包括一第一元件区域与一第二元件区域；形成一非晶矽层于该基板上方；形成一保护膜于该第二元件区域内之部份该非晶矽层上方；对该非晶矽层进行一准分子雷射退火制程，以将该非晶矽层转化为一多晶矽层；移除该保护膜；以及图案化该多晶矽层，以在该第一元件区域形成一第一图案化多晶矽层，及在该第二元件区域形成一第二图案化多晶矽层，其中该第一图案化多晶矽层之晶粒尺寸大于该第二图案化多晶矽层，藉此形成一有机电激发光元件。

主权项

1.一种有机电激发光元件的制造方法，包括：提供一基板，该基板包括一含有复数个画素之画素区域，其中每一画素内包括一第一元件区域与一第二元件区域；形成一图案化保护膜于该第二元件区域上方；形成一非晶矽层于该基板与该图案化保护膜上方；对该非晶矽层进行一准分子雷射退火制程以将该非晶矽层转化为一多晶矽层；以及图案化该多晶矽层，以在该第一元件区域形成一第一图案化多晶矽层，及在该第二元件区域形成一第二图案化多晶矽层，其中该第一图案化多晶矽层之晶粒尺寸大于该第二图案化多晶矽层，藉此形成一有机电激发光元件。 ;2.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光元件的制造方法，其中该图案化保护膜系包括金属材料。 ;3.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光元件的制造方法，其中在该准分子雷射退火制程中，该图案化保护膜有较高的热传系数。 ;4.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光元件的制造方法，更包括：在该图案化该多晶矽层之步骤后，形成一闸极介电层，以覆盖该图案化多晶矽层与该基板。 ;5.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光元件的制造方法，其中该第一、第二图案化多晶矽层分别为一位于该第一元件区域内之一第一主动层与位于该第二元件区域内之一第二主动层。 ;6.如申请专利范围第1项所述之有机电激发光元件的制造方法，其中该第一元件区域内形成一开关薄膜电晶体元件，而该第二元件区域内形成一驱动薄膜电晶体元件。 ;7.如申请专利范围第6项所述之有机电激发光元件的制造方法，更包括：一有机发光二极体，其中该有机发光二极体系与该驱动薄膜电晶体元件形成电性连接。 ;8.一种影像显示系统，包括：一有机电激发光元件，包括：上方具有一画素区之一基板，其中该画素区包括复数个次画素，且每一个次画素包括：一开关区以及一驱动区；一开关薄膜电晶体，置于该开关区；以及一驱动薄膜电晶体，置于该驱动区，且至少包括一闸极、位于该闸极下方之一多晶矽层、与位于该多晶矽层下方之一图案化保护膜，其中该图案化保护膜系为一金属层且介于该多晶矽层与该基板之间。 ;9.如申请专利范围第8项所述之影像显示系统，更包括一显示面板，其中该有机电激发光元件形成该显示面板的一部份。 ;10.如申请专利范围第9项所述之影像显示系统，更包括一电子元件，其中该电子元件包括：该显示面板；以及一耦接至该显示面板之输入单元，且该输入单元用以提供一输入讯号至该显示面板，因而该显示面板显示影像。 ;11.如申请专利范围第10项所述之影像显示系统，其中该电子元件系为一行动电话、数位相机、个人数位助理、笔记型电脑、桌上型电脑、电视、车上显示器或可携式数位多功能光碟播放机。;第1图系绘示一主动矩阵式有机电激发光元件中一个画素之等效电路图。;第2a~2f图系绘示本发明一较佳实施例中有机电激发光元件之制造方法的剖面图。;第3a~3f图系绘示本发明另一较佳实施例中有机电激发光元件之制造方法的剖面图。;第4a~4g图系绘示本发明又一较佳实施例中有机电激发光元件之制造方法的剖面图。;第5a~5g图系绘示本发明又一较佳实施例中有机电激发光元件之制造方法的剖面图。;第6图系绘示本发明一较佳实施例中用于显示影像之系统。