| 摘要 |
1. Способ очистки кремния включающий стадии измельчения кремния до размера частиц менее 100 мкм и перегрузку порошка кремния в реактор очистки, отличающийся тем, что реактор заполняют химически активным газом, например, хлором и нагревают в рабочей зоне до температуры 900-1410°С, в реакторе создают условия для перемешивания порошка, порошок выдерживают в рабочей зоне в течение по крайней мере 1 ч, порошок кремния перегружают из реактора в тигель с чистым расплавленным кремнием и периодически производят частичный выпуск очищенного кремния в изложницу. ! 2. Способ очистки кремния по п.1, отличающийся тем, что перемешивание порошка выполняют вращением реактора вокруг продольной оси. ! 3. Способ очистки кремния по п.1, отличающийся тем, что перемешивание порошка выполняют продувкой газа через слой порошка. ! 4. Установка для непрерывной очистки порошкообразного кремния, включающая рабочий реактор и систему нагревателей, отличающаяся тем, что содержит бункер и питатель с порошком кремния, наклонный реактор с системой внешних нагревателей, верхним загрузочным и нижним выгрузочным окнами, под выгрузочным окном герметично выполнена плавильная камера с расплавленным кремнием, дозатором и изложницей для слитков кремния. ! 5. Установка для непрерывной очистки кремния по п.4, отличающаяся тем, что реактор, плавильная камера, дозатор и изложница выполнены из кварцевого стекла или кварцевой керамики, а плавильная камера заполнена инертным по отношению к кремнию газом. ! 6. Установка для непрерывной очистки кремния по п.4, отличающаяся тем, что внутри реактора нижняя стенка содержит множество отверстий для выхода газа, направленн� |
