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发明名称 SUBSTRATE TRANSFER ROBOT
摘要
申请公布号 KR100968869(B1) 申请公布日期 2010.07.09
申请号 KR20080066337 申请日期 2008.07.09
申请人 发明人
分类号 B25J9/06;B25J15/08;H01L21/68 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
主权项
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