| 发明名称 |
SYSTEME MICROTECHNIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL SYSTEME. |
| 摘要 |
Système microtechnique (1) comprenant un substrat (2) et un encapsulage (3). Le substrat (2) et l'encapsulage (3) forment une première chambre (4a) et une seconde chambre (4b) dans lesquelles règnent des pressions (p1, p2) différentes.
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| 申请公布号 |
FR2940797(A1) |
申请公布日期 |
2010.07.09 |
| 申请号 |
FR20100050024 |
申请日期 |
2010.01.05 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
OHMS TORSTEN;RAUDZIS CARSTEN |
| 分类号 |
B81B7/00;B81C1/00;G01C19/56 |
主分类号 |
B81B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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