| 发明名称 |
Piezolinearantrieb mit einer Gruppe von Piezostapelaktoren sowie Verfahren zum Betreiben eines solchen Antriebes |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE50214449(D1) |
申请公布日期 |
2010.07.08 |
| 申请号 |
DE20025014449 |
申请日期 |
2002.06.12 |
| 申请人 |
PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. KG |
发明人 |
MARTH, HARRY DR. |
| 分类号 |
H02N2/02;H01L41/083;H01L41/09;H02N2/04 |
主分类号 |
H02N2/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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