Halbleiterscheibe mit Schichtstruktur mit geringem Warp und Bow sowie Verfahren zu ihrer Herstellung,申请号DE200410041378-传众专利搜索

发明名称	Halbleiterscheibe mit Schichtstruktur mit geringem Warp und Bow sowie Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号	DE102004041378(B4)	申请公布日期	2010.07.08
申请号	DE200410041378	申请日期	2004.08.26
申请人	SILTRONIC AG	发明人	BLIETZ, MARKUS;HOELZL, ROBERT;HUBER, ANDREAS;WAHLICH, REINHOLD
分类号	H01L27/12;H01L21/322;H01L21/324;H01L21/84	主分类号	H01L27/12
代理机构		代理人
主权项
地址