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发明名称
A pattern forming method of biosensor substrate and a biosensor using the same
摘要
申请公布号
KR100968546(B1)
申请公布日期
2010.07.08
申请号
KR20080057861
申请日期
2008.06.19
申请人
发明人
分类号
G01N33/48;G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G01N33/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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