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发明名称 TRÄGERPLATTENANORDNUNG FÜR SPUTTERTARGETS UND FILMABSCHEIDUNGSSYSTEM
摘要
申请公布号 DE602005021535(D1) 申请公布日期 2010.07.08
申请号 DE20056021535T 申请日期 2005.10.14
申请人 NIPPON MINING & METALS CO. LTD. 发明人 MIYASHITA, HIROHITO
分类号 C23C14/34;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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