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发明名称 Verfahren zur Bildung eines Source-Kontakts eines Flash-Speicherbauelements
摘要
申请公布号 DE102005022372(B4) 申请公布日期 2010.07.08
申请号 DE200510022372 申请日期 2005.05.10
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, TAE KYUNG
分类号 H01L21/283;H01L21/768;H01L21/8247 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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