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发明名称 Osculation type cleaner for large area substrate
摘要
申请公布号 KR20100006960(U) 申请公布日期 2010.07.08
申请号 KR20080017334U 申请日期 2008.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;B08B3/00;G02F1/13 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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