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发明名称
摘要
申请公布号	JP2010522980(A)	申请公布日期	2010.07.08
申请号	JP20100500380	申请日期	2008.03.14
申请人		发明人
分类号	H01L21/02;H01L21/265;H01L21/324;H01L27/12	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
地址

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