发明名称 Filmfördergerät und Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtungsverfahren
摘要
申请公布号 DE112008001359(T5) 申请公布日期 2010.07.08
申请号 DE200811001359T 申请日期 2008.04.18
申请人 ULVAC CORP. 发明人 HIRONO, TAKAYOSHI;TADA, ISAO;NAKATSUKA, ATSUSHI
分类号 C23C14/56 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
地址