发明名称 SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100968315(B1) 申请公布日期 2010.07.08
申请号 KR20040003717 申请日期 2004.01.19
申请人 发明人
分类号 G02F1/13;G03F7/30;B65G49/06;H01L21/027;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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