| 摘要 |
Mit der vorliegenden Erfindung wird ein Bauelement mit einer sehr platzsparenden mikromechanischen Mikrofonstruktur mit einer Messkapazität und einer weiteren Kapazität vorgeschlagen, die im Verhältnis zu ihrer geringen Baugröße eine hohe Empfindlichkeit aufweist. Die mikromechanische Mikrofonstruktur dieses Bauelements (10) umfasst eine durch den Schalldruck auslenkbare erste Membran (11), die als auslenkbare Elektrode fungiert, ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (13), das als Gegenelektrode fungiert, und eine weitere Kapazität zur Auswertung der Kapazitätsänderungen zwischen der ersten auslenkbaren Elektrode (11) und der Gegenelektrode (13). Erfindungsgemäß ist das feststehende Gegenelement (13) zwischen der auslenkbaren ersten Membran (1) und einer zweiten Membran (12) angeordnet und fungiert auch als Elektrode der weiteren Kapazität, während die zweite Membran (12) die zweite Elektrode der weiteren Kapazität bildet.
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