| 发明名称 |
EPITAXIAL SILICON WAFER, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2010153631(A) |
申请公布日期 |
2010.07.08 |
| 申请号 |
JP20080330749 |
申请日期 |
2008.12.25 |
| 申请人 |
SUMCO TECHXIV CORP |
发明人 |
KAWASHIMA TADASHI;YOSHIKAWA MASAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/20;C23C16/24;C30B25/20;C30B29/06;H01L21/205;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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