Elektrochemisches Einebnungssystem mit verbesserter Elektrolytströmung

摘要

Ein Polierkissen für eine elektrochemische Einebnungsanlage umfasst eine strukturierte Oberfläche, die geeignete Elektrolytströmungskanäle bildet, um einen Elektrolyten vom Zentrum zum Rand zu leiten. Folglich kann eine kontinuierliche Elektrolytströmung eingerichtet werden, wodurch das Ansammeln von Kontaminationsstoffen in dem Polierkissen deutlich verringert wird, wodurch sich eine bessere Prozessgleichmäßigkeit ergibt, so dass ein häufiges Spülen des Polierkissens und das Ersetzen der Elektrolytlösung vermieden werden kann.