制作用于光学鼠标的单模VCSEL的方法

摘要

本发明揭示一种面射型激光器，其具有一带有顶面及底面的衬底、一位于所述衬底顶面上的由折射率交替变化的镜面层构成的第一堆叠及一设置于所述第一堆叠上的有源层。所述面射型激光器还包括一设置于所述有源层上的由折射率交替变化的镜面层构成的第二堆叠及该第二堆叠的一直径减小的镜面延伸部分，所述直径减小的镜面延伸部分在所述第二堆叠的一与所述有源层相对的侧上形成所述面射型激光器的一从所述第二堆叠的一中心部分向外延伸的光学孔径。

主权项

一种面射型激光器，其包括：一带有顶面及底面的衬底；一位于所述衬底的所述顶面上的由折射率交替变化的镜面层构成的第一堆叠；一设置于所述第一堆叠上的有源层；一设置于所述有源层上的由折射率交替变化的镜面层构成的第二堆叠；一设置于所述第二堆叠内的电流限制区域；及所述第二堆叠的一直径减小的镜面延伸部分，其在所述第二堆叠的一与所述有源层相对的侧上形成所述面射型激光器的一从所述第二堆叠的一中心部分向外延伸的光学孔径，所述直径减小的镜面延伸部分具有小于所述电流限制区域所限定的电流孔径的直径的相对直径，并且其中所述直径减小的镜面延伸部分的对应的直径和高度导致发出的光仅将光学能量中的基模耦合通过所述镜面延伸部分并抑制更高阶的横模。