偏振无关高效率石英透射三角光栅

摘要

一种用于中心波长为1550纳米波段的偏振无关高效率石英透射三角光栅，其特征在于该光栅周期为1080纳米、刻蚀深度在10300纳米。当TE和TM偏振光以对中心波长1550纳米为利特罗角入射时，该熔融石英三角光栅对-1级的透射衍射效率可在1500～1610纳米波长范围内大于90％，而在1540～1560纳米波长的-1级衍射效率大于99％。本发明偏振无关高效率石英透射三角光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，在光纤通信领域具有重要的实用前景。

主权项

一种用于中心波长为1550纳米波段的偏振无关高效率石英透射三角光栅，其特征在于该光栅的周期为1080纳米、光栅的深度在10200-10400纳米。