| 发明名称 |
一种压印模板 |
| 摘要 |
本发明提供一种廉价的压印模板，属于微纳制造领域。其特征在于：在硬质基底表面覆盖图形化材料层，先将图形化材料层图形化，然后对图形化表面修饰处理，之后直接用作压印模板。这种压印硬模板制作方法与目前常用的电子束直写等技术方法相比，具有成本低、周期短、工艺简单的显著特点。可以广泛应用于纳米级、高密度表面纳米结构加工与研究中，在半导体照明、高密度存储等领域前景广阔。 |
| 申请公布号 |
CN101770165A |
申请公布日期 |
2010.07.07 |
| 申请号 |
CN200910044950.3 |
申请日期 |
2009.01.06 |
| 申请人 |
上海市纳米科技与产业发展促进中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
发明人 |
刘彦伯;钮晓鸣;宋志棠;闵国全;周伟民;张静;万永中;张挺;李小丽;张剑平;施利毅;刘波;封松林 |
| 分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
一种廉价的压印模板，其特征是：在硬质基底表面覆盖图形化层，先将图形化层图形化，然后对图形化材料表面修饰处理，之后直接作压印工艺中的压印模板。 |
| 地址 |
200237上海市徐汇区嘉川路245号3号楼三楼 |
