发明名称 |
半导体存储单元及其制造方法和操作方法 |
摘要 |
一种操作方法可包括通过向共用源极和/或N阱区提供预设编程电压、将控制栅极接地和/或浮置、和/或将字线和/或位线接地,对半导体存储单元进行编程。一种操作方法可包括通过将字线浮置和/或接地、向控制栅极提供预设擦除电压、和/或将N阱、位线和/或共用源极接地,对半导体存储单元进行擦除。一种操作方法可包括通过将控制栅极接地和/或浮置、向N阱和/或共用源极提供预设读取电压、将字线接地、和/或向位线提供预设漏极电压,对半导体存储单元进行读取。 |
申请公布号 |
CN101770990A |
申请公布日期 |
2010.07.07 |
申请号 |
CN200910265288.4 |
申请日期 |
2009.12.30 |
申请人 |
东部高科股份有限公司 |
发明人 |
郑真孝 |
分类号 |
H01L21/8247(2006.01)I;H01L27/115(2006.01)I;G11C16/10(2006.01)I;G11C16/14(2006.01)I;G11C16/26(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/8247(2006.01)I |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 72003 |
代理人 |
姜燕;邢雪红 |
主权项 |
一种方法,包括以下步骤:制备包括N阱区的半导体衬底;在所述半导体衬底上方形成浮置栅极多晶硅;在所述浮置栅极多晶硅上方形成触点;以及在所述触点与所述浮置栅极多晶硅之间形成电介质。 |
地址 |
韩国首尔 |