在不锈钢基底上沉积硼碳氮薄膜方法

摘要

本发明公开了一种在不锈钢基底上沉积硼碳氮薄膜方法，薄膜能够抗离子液体腐蚀。本发明采用中频磁控溅射物理气相沉积技术，在不锈钢基底上直接沉积一层硼碳氮薄膜。

主权项

一种在不锈钢基底上沉积硼碳氮薄膜方法，其特征在于该方法包括以下步骤：A将预先清洁后的不锈钢片放入丙酮、乙醇中超声清洗，然后在去离子水中冲洗，吹干，置于真空室；抽真空直到腔内真空度小于3.0×10-3Pa；B通入Ar气至1Pa，基底加脉冲偏压为-600V，导通比0.8，利用等离子体辉光清洗衬底，以除去表面残留的杂质和污染物；C采用高纯氮气和氩气为反应溅射气体，分别溅射石墨靶和硼靶制备了BCN薄膜；Ar流量120sccm，N2流量80sccm，沉积气压为1Pa，沉积功率约为1000W，基底偏压在-200V之间，不锈钢片与靶的距离为150mm，沉积时间为100-150min。