| 发明名称 |
OPTICAL SYSTEM, EXPOSING APPARATUS AND EXPOSING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1767978(A4) |
申请公布日期 |
2010.07.07 |
| 申请号 |
EP20050748799 |
申请日期 |
2005.06.09 |
| 申请人 |
NIKON CORPORATION |
发明人 |
OMURA, YASUHIRO;IIDA, HARUHISA;TSUDA, TAKESHI |
| 分类号 |
G02B17/08;G02B5/08;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B17/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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