SPUTTERING FILM FORMING METHOD, ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND SPUTTERING SYSTEM,申请号KR20080038466-传众专利搜索

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发明名称	SPUTTERING FILM FORMING METHOD, ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING METHOD, AND SPUTTERING SYSTEM
摘要
申请公布号	KR100967971(B1)	申请公布日期	2010.07.07
申请号	KR20080038466	申请日期	2008.04.25
申请人		发明人
分类号	H01L21/203	主分类号	H01L21/203
代理机构		代理人
主权项
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