发明名称 感光性树脂组合物
摘要 一种感光性树脂组合物,含有树脂(A)、聚合性单体(B)、聚合引发剂(C)、溶剂(D)以及表面活性剂(E),其中,溶剂(D)含有二种以上的沸点在175℃以下的溶剂,表面活性剂(E)相对于除表面活性剂以外的感光性树脂组合物100重量%的含量为0.0025~0.0250重量%,固体成分量为10~30重量%。
申请公布号 CN101770168A 申请公布日期 2010.07.07
申请号 CN200910262150.9 申请日期 2009.12.25
申请人 住友化学株式会社 发明人 白川政和
分类号 G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I;G03F7/038(2006.01)I 主分类号 G03F7/004(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 朱丹
主权项 一种感光性树脂组合物,其特征在于,含有树脂(A)、聚合性单体(B)、聚合引发剂(C)、溶剂(D)以及表面活性剂(E),其中,溶剂(D)含有二种以上的沸点在175℃以下的溶剂,表面活性剂(E)相对于除表面活性剂以外的感光性树脂组合物100重量%的含量为0.0025~0.0250重量%,固体成分量为10~30重量%。
地址 日本国东京都