发明名称 小孔径核孔滤膜及其生产方法
摘要 本发明公开一种小孔径核孔滤膜及其生产方法,用于解决现有的生产工艺不能生产出孔径介于φ0.03~φ2μm之间的柱状核孔滤膜的问题。该方法包括以下步骤:以高能硫离子辐照薄膜,形成柱状损伤区;在氧气浓度不低于2/5的含氧的环境下,将上述离子辐照后的薄膜紫外辐照1~2小时;将紫外辐照后的薄膜在通风环境下陈化1~2月;将陈化后的薄膜放入带超声波装置的碱性蚀刻槽蚀刻,蚀刻时持续以超声波振荡碱性蚀刻液,蚀刻后制得孔径为φ0.03~φ2μm的柱状核孔滤膜。而且该方法简单,成本低,可以大量普及并实现产业化。
申请公布号 CN101766959A 申请公布日期 2010.07.07
申请号 CN200910259469.6 申请日期 2009.12.22
申请人 武汉智迅创源科技发展有限公司 发明人 罗勇;吴其玉;杨建利
分类号 B01D69/00(2006.01)I;B01D71/48(2006.01)I 主分类号 B01D69/00(2006.01)I
代理机构 北京中伟智信专利商标代理事务所 11325 代理人 张岱
主权项 一种小孔径核孔滤膜的生产方法,其特征在于,包括以下步骤:以高能硫离子辐照薄膜,形成柱状损伤区;在氧气浓度不低于2/5的含氧的环境下,将上述离子辐照后的薄膜紫外辐照1~2小时;将紫外辐照后的薄膜在通风环境下陈化1~2月;将陈化后的薄膜放入带超声波装置的碱性蚀刻槽蚀刻,蚀刻时持续以超声波振荡碱性蚀刻液,蚀刻后制得孔径为φ0.03~φ2μm的柱状核孔滤膜。
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