一种激光焦点与微孔同轴共面性检测调整装置及检测方法

摘要

一种激光束焦点与微孔同轴共面性检测调整装置及检测方法，其特征在于：通过专用CCD摄像机对微纳级激光焦点光斑进行采集图像，经过图像分析软件对光斑进行分析处理，得到光斑轮廓线、光斑中心位置及其他所需参数，再经该CCD检测微孔边缘，得到微孔中心，由专用调整装置实现高精度的同轴共面调整。

主权项

一种激光束焦点与微孔同轴共面对准检测调整装置，其特征在于：包括激光器(12)以及在激光器(12)同侧依次同水平布置的衰减器(11)、分束镜(9)、可见光透射激光反射镜(3)，在所述分束镜(9)垂直下方依次布置聚焦镜(8)、特定波段专用CCD摄像机(7)、所述特定波段专用CCD摄像机(7)与工控机(10)相连，在所述可见光透射激光反射镜(3)垂直上方依次布置有安全滤光镜(4)、图像接收镜(5)、普通CCD摄像机(6)，在所述可见光透射激光反射镜(3)垂直下方布置有聚焦镜(2)，在聚焦镜(2)下方放置带微孔薄片(1)。