| 发明名称 | 聚对苯撑苯并双恶唑纤维表面处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供PBO表面处理方法，以降低表面经由金属溅射的PBO中的漏电流，提高集成电路性能。该方法包括步骤使用氩离子刻蚀金属溅射过的PBO表面。 | ||
| 申请公布号 | CN101770947A | 申请公布日期 | 2010.07.07 |
| 申请号 | CN200810204962.3 | 申请日期 | 2008.12.30 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 何智清;王重阳;章国伟;梅娜;佟大明 |
| 分类号 | H01L21/311(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/311(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种聚对苯撑苯并双恶唑纤维表面处理方法，其特征在于，包括：使用氩离子刻蚀金属溅射过的聚对苯撑苯并双恶唑纤维表面。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张江路18号 | ||