二段式太阳能电池的制造方法

摘要

本发明提出了一种二段式太阳能电池制造方法，包括：制造基板；进行杂质植入后进行扩散；或进行扩散后进行杂质植入；所述杂质植入步骤包括：在基板上设置一遮挡物，所述遮挡物具有预设的图案开口，所述开口贯穿所述遮挡物；在遮挡物下方植入杂质，并使位于所述开口处的杂质浓度高于位于非开口处的杂质浓度；在表面形成反射防止膜并形成电极。本发明通过采用遮挡物实现控制不同区域植入不同浓度的掺杂离子，使电极下方形成高浓度层，其他区域形成低浓度层。本发明提出的方法，能够采用一次植入及扩散，实现与现有的二段式太阳能电池相同的技术参数，具有更好的接触电阻、较高的转换效率，同时又能减少生产工艺步骤、降低成本。

主权项

一种二段式太阳能电池制造方法，包括：步骤1、制造基板；步骤2、进行杂质植入后进行扩散；或进行扩散后进行杂质植入；所述杂质植入步骤包括：在基板上设置一遮挡物，所述遮挡物具有预设的图案开口，所述开口贯穿所述遮挡物；在遮挡物下方植入杂质，并使位于所述开口处的杂质浓度高于位于非开口处的杂质浓度；步骤3、在表面形成反射防止膜并形成电极。