| 发明名称 | 大尺寸靶材超声波处理装置及其处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明的一种大尺寸靶材超声波处理装置及其处理方法，所述装置包括：超声波发生器，产生并发射超声波；靶材坯料承载台，承载靶材坯料，并对准超声波发生器；传动装置，设置于靶材坯料承载台上，用于移动靶材坯料。所述传动装置能够移动靶材坯料相对于超声波发生器运动，并保持靶材坯料与超声波发生器的间距一致。在保证了超声波处理质量的同时，可以稳定超声波处理效果的一致性，而无需反复处理坯料表面，提高了生产效率。 | ||
| 申请公布号 | CN101768723A | 申请公布日期 | 2010.07.07 |
| 申请号 | CN200910215629.7 | 申请日期 | 2009.12.30 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;潘杰;王学泽;欧阳琳;刘庆 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;B23K3/08(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李丽 |
| 主权项 | 一种大尺寸靶材超声波处理装置，其特征在于，包括：超声波发生器，产生并发射超声波；靶材坯料承载台，承载靶材坯料，并对准超声波发生器；传动装置，设置于靶材坯料承载台上，用于移动靶材坯料。 | ||
| 地址 | 315400浙江省余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路 | ||