非接触六自由度位移测量装置

摘要

本发明提供一种非接触六自由度位移测量装置，包括：固定不动部分；光源发光部分，包括4路激光输出结构，与固定不动部分固定在一起，并发射光束；光电接收部分，被测物体与所述光电接收部分固定在一起，并且所述光电接收部分包括4个面阵CCD，其中，每个CCD分别接收从4路激光输出结构发射的光源信号中的一路光源信号，当被测物体发生任一自由度的运动时，引起CCD上相应光点位置的变化，根据变化前后的所述光点位置计算物体六自由度位移。本发明的非接触六自由度位移测量装置可用于物体高精度的六自由度微位移监测。

主权项

一种非接触六自由度位移测量装置，包括：固定不动部分；光源发光部分，包括四路激光输出结构，与固定不动部分固定在一起，并发射光束，其中，四路激光输出结构发射的光束的反向延长线交于一点；光电接收部分，被测物体与所述光电接收部分固定在一起，并且所述光电接收部分包括四个面阵CCD，其中，所述光电接收部分的四个CCD的感光面处于同一平面内，分别采集从四路激光输出结构发射的光源信号中的一路光源信号，当被测物体发生任一自由度的运动时，引起CCD上相应光点位置的变化，根据变化前后的所述光点位置计算被测物体六自由度位移。