一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法及装置

摘要

一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法及装置，该方法是通过夹持装置与运行中的单晶实体接触，对单晶提供支持力用于消除单晶运行时，晃动和倒伏的现象，所述的与运行中的单晶实体接触的是夹持针，该夹持针与夹持牵引系统、夹持基座组成夹持装置。本发明的优点是：增加设备运行中单晶的稳定性的同时，又不影响单晶体生长的外部环境和工艺条件，这就意味着该方法可以在整体流程不变的情况下，提高了单晶生长环节中的单晶体的稳定性以及单晶完整率。

主权项

一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法，其特征在于：通过夹持装置与运行中的单晶实体接触，对单晶提供必要的支持力用于消除单晶运行时，晃动和倒伏的现象。