电子束照射装置

摘要

本实用新型提供一种电子束照射装置，具有：三角波电源、由前述三角波电源的三角波电流励磁，扫描电子束的扫描线圈、方形波电源、及由前述方形波电源的方形波电流励磁；对前述扫描的扫描方向垂直相交的方向上使电子束偏向的偏向线圈，通过前述扫描线圈和偏向线圈使前述电子束扫描轨道为矩形；其特征在于，前述三角波电流的扫描方向的往路或复路的任一个扫描中，前述方形波电源的方形波电流中，反转往路或复路的任一个扫描中的方形波电流的波形。通过将电子束轨道矩形扫描、偏向时，可使其扫描方向折返点的电子束分布均匀化，由此可减轻窗箔的局部恶化。

主权项

一种电子束照射装置，具有：三角波电源、由前述三角波电源的三角波电流励磁，扫描电子束的扫描线圈、方形波电源、及由前述方形波电源的方形波电流励磁；对前述扫描的扫描方向垂直相交的方向上使电子束偏向的偏向线圈，通过前述扫描线圈和偏向线圈使前述电子束扫描轨道为矩形；其特征在于，前述三角波电流的扫描方向的往路或复路的任一个扫描中，前述方形波电源的方形波电流中，反转往路或复路的任一个扫描中的方形波电流的波形。