一种电磁双稳态微继电器

摘要

本实用新型是一种双稳态电磁微继电器，属于制造技术领域。它采用了将驱动线圈系统、电极系统、触点系统及其磁芯和铁芯制作在半导体硅基板上，然后和永磁铁进行贴装组合的结构。驱动线圈系统由驱动线圈、导线和组成，导线连接两个平面驱动线圈中心电极。触点系统由两对静触点、扭转梁、支座、转轴组成，分布在芯片的正。磁芯和铁芯是硅基板背面的三个刻蚀的面上镀坡莫合金层的硅杯。本继电器采用基本结构一体式的结构，克服了分体式结构可靠性差，结构精度低等弊端。本实用新型具有工艺简单、成本低、结构简单、可靠性高等优点。

主权项

一种电磁双稳态微继电器，其特征在于：包括硅基板(5)、在硅基板(5)的下表面刻蚀的磁芯铁芯系统、在硅基板的上面制作的驱动线圈系统、以及在驱动线圈系统上部布置的触点系统；所述的磁芯铁芯系统包括一个铁芯(7)和两个磁芯(2)，所述的铁芯的中心与硅基板的中心重合，所述的两个磁芯沿硅基板中心线的方向相对于铁芯(7)对称分布，所述的铁芯(7)为在硅基板的下表面刻蚀出截面形状为三角形的硅杯，在硅杯上镀有坡莫合金层组成铁芯(7)，两个磁芯(2)的结构和铁芯(7)的结构相同，磁芯(2)和铁芯(7)之间也通过坡莫合金层连接；在铁芯和磁芯的下面设置有起绝缘作用的保护层(3)，在保护层(3)的下面贴合有永磁铁(1)；所述的驱动线圈系统包括两个平面布置的驱动线圈(9)、连接驱动线圈的导线(12)和两对载荷电极(5)；在硅基板(5)的上表面制作有一连接驱动线圈(9)的导线(12)，导线(12)的两个端子分别位于两个线圈磁芯(2)的正上方，整个导线(12)成“U”字形结构，在去除导线(12)的两个端子的上面制作有一层绝缘层(10)，在绝缘层(10)的上面制作有两个平面线圈(9)和两对载荷端子(15))，平面线圈(9)的中央端子处在导线(12)的端子的正上方，并与导线端子相导通，两对载荷端子(15)分别对称分布在两个驱动线圈(9)的两侧；所述的触点系统包括两对静触点(6)、支座(8)、扭转梁(11)和转轴(14)；在线圈(9)的上面制作有绝缘层(10)，并露出线圈电极(13)和两对载荷端子(15)，在绝缘层(10)的上面制作有两对静触点(6)、支座(8)、扭转梁(11)和转轴(14)，扭转梁(11)、支座(8)和转轴(14)为电镀的坡莫合金层，成“十”字形结构，十字结构的中心与硅基板(5)的中心重合，扭转梁(11)和转轴(14)具有相同的厚度，支座(8)与转轴(14)两端连接，支座(8)与静触点(6)和转轴(14)厚度差形成继电器的工作间隙，两对静触点(6)对称布置的扭转梁(11)的两端，并与两对载荷电极(15)一一对应连接，扭转梁(11)转动时其端部能够与静触点接触。