| 发明名称 | 氧化物介电层的形成方法及具有采用该形成方法得到的氧化物介电层的电容器层形成材料 | ||
| 摘要 | 本发明的目的是提供一种氧化物介电层的形成方法，其采用溶胶-凝胶法形成介电层，该介电层具有难以受到蚀刻液的损伤并且高的电容量等的优良的介电特性。为了达到该目的，本发明的氧化物介电层的形成方法，采用溶胶-凝胶法形成氧化物介电层，其特征在于，具有以下(a)～(c)工序：(a)溶液制备工序，用于制备用于制造规定的氧化物介电层的溶胶-凝胶溶液；(b)涂敷工序，把在金属基材的表面上涂敷上述溶胶-凝胶溶液、在含氧的环境中干燥、在含氧的环境中热分解的一系列工序作为一个单位工序，重复多次该一个单位工序，在一个单位工序与一个单位工序之间，任意设置在550℃～1000℃下的惰性气体置换环境等中进行的预焙烧处理，进行膜厚调整；(c)焙烧工序，最后在550℃～1000℃下的惰性气体置换环境等中进行焙烧处理，形成介电层。 | ||
| 申请公布号 | CN101167415B | 申请公布日期 | 2010.07.07 |
| 申请号 | CN200680014390.1 | 申请日期 | 2006.04.28 |
| 申请人 | 三井金属矿业株式会社 | 发明人 | 菅野明弘;杉冈晶子;阿部直彦;中岛弘毅 |
| 分类号 | H05K1/16(2006.01)I;H05K3/46(2006.01)I;C04B35/64(2006.01)I;H01G4/12(2006.01)I;H01G4/33(2006.01)I;H01G13/00(2006.01)I | 主分类号 | H05K1/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 高龙鑫 |
| 主权项 | 一种氧化物介电层的形成方法，其采用溶胶-凝胶法形成氧化物介电层，其特征在于，具有下列(a)～(c)工序：(a)溶液制备工序，用于制备溶胶-凝胶溶液，该溶胶-凝胶溶液用于制造规定的氧化物介电层；(b)涂敷工序，把在金属基材的表面上涂敷上述溶胶-凝胶溶液、在含氧的环境中于120℃～250℃下进行干燥、在含氧的环境中于270℃～390℃下进行热分解的一系列工序作为一个单位工序，重复多次该一个单位工序，在一个单位工序与一个单位工序之间，任意设置在550℃～1000℃下的惰性气体置换环境或真空环境中进行的预焙烧处理，进行膜厚调整；(c)焙烧工序，最后在550℃～1000℃下的惰性气体置换环境或真空环境中进行焙烧处理，形成介电层。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||