| 发明名称 | 电容式相对湿度传感器 | ||
| 摘要 | 电容式相对湿度传感器由衬底，氧化层，电容电极，湿度敏感介质组成，氧化层设在衬底上，电容电极设在氧化层上，电容电极由压焊块引出，湿度敏感介质设在电容电极之间和电容电极上方，腐蚀衬底及其上方的氧化层，形成空腔，使得电容电极之间的湿度敏感介质的下表面也与空气接触，电容电极为叉指状电极且交错排列，每组叉指状电极的公共端和叉指状电极的自由端均固定于氧化层上，以保证电极的机械强度。本实用新型采用聚酰亚胺作为湿度敏感介质，将衬底及其上方的氧化层腐蚀形成空腔，电容电极之间的湿度敏感介质的上方和下方均为空气，该传感器具有响应速度快，灵敏度高，衬底寄生小等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN201522471U | 申请公布日期 | 2010.07.07 |
| 申请号 | CN200920233711.8 | 申请日期 | 2009.07.23 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 赵成龙;黄庆安;秦明 |
| 分类号 | G01N27/22(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | G01N27/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人 | 叶连生 |
| 主权项 | 一种电容式相对湿度传感器，其特征在于该传感器包括衬底(1)、氧化层(2)、第一电容电极(3)、第二电容电极(4)和湿度敏感介质(5)，氧化层(2)设在衬底(1)上，第一电容电极(3)、第二电容电极(4)设在氧化层(2)上，第一电容电极(3)和第二电容电极(4)由第一压焊块(33)和第二压焊块(43)分别引出，湿度敏感介质(5)设在第一电容电极(3)和第二电容电极(4)之间以及第一电容电极(3)和第二电容电极(4)上方，腐蚀衬底(1)及其上方的氧化层(2)，形成空腔(6)，使得第一电容电极(3)和第二电容电极(4)之间的湿度敏感介质(5)的下表面也与空气接触。 | ||
| 地址 | 210096 江苏省南京市四牌楼2号 | ||