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经营范围
发明名称
METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR APPARATUS, DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR APPARATUS, AND STORAGE MEDIUM FOR PROGRAM
摘要
申请公布号
KR100967925(B1)
申请公布日期
2010.07.06
申请号
KR20080056159
申请日期
2008.06.16
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;H01L21/302
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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