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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR SIMOX SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE60142158(D1) 申请公布日期 2010.07.01
申请号 DE20016042158 申请日期 2001.03.02
申请人 NIPPON STEEL CORP. 发明人 KAWAMURA, KEISUKE;MATSUMURA, ATSUKI;MIZUTANI, TOSHIYUKI
分类号 H01L21/762;H01L21/265;H01L21/324 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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