| 摘要 |
Bei einer Transportvorrichtung für eine Vakuumprozessanlage, die mindestens zwei sequentiell arbeitende Transporteinrichtungen zum Transport einzelner Substrate durch die Vakuumprozessanlage umfasst, wobei in mindestens einem Prozessbereich der Vakuumprozessanlage eine Speichereinrichtung zur Aufnahme mehrerer Substrate angeordnet ist, welche von einer vorgelagerten sequentiellen Transporteinrichtung aus mit Substraten beladbar ist und welche auf eine nachgelagerte sequentielle Transporteinrichtung entladbar ist, und welche mindestens zwei Substratablagen aufweist, wobei mindestens eine Substratablage zwischen einer Übernahmeposition und einer Speicherposition hin und her bewegbar ist, wird vorgeschlagen, dass die Substratablage einen Rahmen und eine Mehrzahl von im Rahmen drehbar gelagerten, antreibbaren Stützelementen zur Aufnahme eines Substrats umfasst.
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