| 发明名称 |
Verfahren zum Ätzen eines polykristallinen Substrates aus ZnSe |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60142153(D1) |
申请公布日期 |
2010.07.01 |
| 申请号 |
DE20016042153 |
申请日期 |
2001.12.27 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES LTD. |
发明人 |
KURISU, KENICHI |
| 分类号 |
G02B5/18;H01L21/465;C03C15/02;C09K13/00;G02B1/02;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/461 |
主分类号 |
G02B5/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
