| 发明名称 |
Vorrichtung zur Bestimmung eines Überlagerungsfehlers und kritischer Dimensionen in einer Halbleiterstruktur mittels Streuungsmessung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10142317(B4) |
申请公布日期 |
2010.07.01 |
| 申请号 |
DE2001142317 |
申请日期 |
2001.08.30 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES INC. |
发明人 |
SCHULZ, BERND |
| 分类号 |
H01L21/66;G01B9/02;G01N21/49 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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