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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen
摘要
申请公布号 DE60236402(D1) 申请公布日期 2010.07.01
申请号 DE20026036402 申请日期 2002.12.12
申请人 XEROX CORP. 发明人 CHUA, CHRISTOPHER L.;KNEISSL, MICHAEL A.;BOUR, DAVID P.
分类号 H01L33/00;H01L33/10;H01L33/46;H01S5/183;H01S5/323;H01S5/343 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
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