Detektor

摘要

Ein Detektor umfasst ein erstes Halbleitersubstrat und ein zweites Substrat, wobei das erste Halbleitersubstrat ein Detektorelement zum Erfassen einer Strahlung oder eines Partikels umfasst und das zweite Substrat eine Steuerschaltung umfasst. Das Detektorelement erstreckt sich von einer ersten Hauptoberfläche des ersten Halbleitersubstrats zu einer zweiten Hauptoberfläche des ersten Halbleitersubstrats.