| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Kraftmessgerät, das ausgebildet ist für zu messende Kräfte unterhalb von 1 Mikronewton mit einem Substrat (12), einem Schaft (14) zum Aufnehmen der zu messenden Kraft (F), einer mäandrierend geformten Feder (16), die (i) in einer Substrat-Befestigungsstelle (18) an dem Substrat (12) befestigt ist und (ii) mit einem Endabschnitt (20) in einer Schaft-Befestigungsstelle (21) an dem Schaft (14) befestigt ist, und (d) einem kapazitiven Sensor (24), der angeordnet ist zum Erfassen einer Position des Endabschnitts (20) relativ zum Substrat (12). |
