Mikrostrukturbauelement mit einer Metallisierungsstruktur mit Luftspalten, die zusammen mit Kontaktdurchführungen hergestellt sind

摘要

Es werden Luftspalte der Metallisierungsschicht eines Mikrostrukturbauelements auf der Grundlage einer Strukturierungssequenz hergestellt, in der auch entsprechende Kontaktdurchführungsöffnungen hergestellt werden. Danach werden die Kontaktdurchführungsöffnungen und die Luftspalte verschlossen mittels eines Abscheideprozesses, ohne dass das Innere der jeweiligen Öffnungen wesentlich beeinflusst wird. Daraufhin wird die weitere Bearbeitung fortgesetzt, indem Gräben hergestellt werden, während die Integrität der abgedeckten Luftspalte beibehalten wird. Somit kann die relative Permittivität des dielektrischen Zwischenschichtmaterials effizient ohne zusätzliche Prozesskomplexität verringert werden.