| 发明名称 | 精密研磨工具 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种精密研磨工具，包括：一基板；多个规则排列于该基板上的研磨颗粒；多个成型于该基板上的第一固定基座，每一这些研磨颗粒藉由其所对应的第一固定基座而规则地固设于该基板上；以及一第二固定层，其披覆这些第一固定基座以及该基板的表面，且使这些研磨颗粒裸露出来而形成一研磨面。本实用新型并不利用烧结等高温工艺将研磨颗粒固定于基板表面上，以避免研磨颗粒易发生断裂的问题。另一方面，本实用新型可调整上述容置部的态样，或是将容置部以区域的方式成型于该基板表面上，以使研磨颗粒在形成研磨面时可具有分布密度的变化、颗粒大小的变化、或是形成研磨区与裸空区的组合，因此，本实用新型具有较佳的研磨能力。 | ||
| 申请公布号 | CN201516579U | 申请公布日期 | 2010.06.30 |
| 申请号 | CN200920166501.1 | 申请日期 | 2009.07.29 |
| 申请人 | 钻面奈米科技股份有限公司 | 发明人 | 陈佳佩 |
| 分类号 | B24B37/04(2006.01)I;B24D3/06(2006.01)I;B24D3/14(2006.01)I;B24D3/28(2006.01)I;B24D3/00(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静 |
| 主权项 | 一种精密研磨工具，其特征在于，包括：一基板；多个规则排列于该基板上的研磨颗粒；多个成型于该基板上的第一固定基座，每一这些研磨颗粒藉由其所对应的第一固定基座而规则地固设于该基板上；以及一第二固定层，其披覆这些第一固定基座以及该基板的表面，且使这些研磨颗粒裸露出来而形成一研磨面。 | ||
| 地址 | 中国台湾台北市 | ||